专利详情

专利名称	用于面对等离子体部件的电子反射率测试平台
申请号	CN201820042064.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207764143U	公开（授权）日	2018.08.24
申请（专利权）人	中国科学院合肥物质科学研究院	发明（设计）人	訾鹏飞;曹磊;周自波;许铁军;李磊;韩乐;刘严伟;姚达毛
主分类号	G01N23/2251(2018.01)I	IPC主分类号	G01N23/2251(2018.01)I
专利有效期	用于面对等离子体部件的电子反射率测试平台至用于面对等离子体部件的电子反射率测试平台	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种用于面对等离子体部件的电子反射率测试平台，包括有带有通水管道的热沉，热沉的进水口与出水口分别设置有入口温度传感器和出口温度传感器，热沉被固定安装在绝热材料制成的隔热板上，热沉上方固定安装待测试材料制成的测试件，测试件在不同位置设有测试件温度传感器，测试件温度传感器通过固定座固定在隔热板上，测试平台放置在真空室中，真空室安装有电子枪提供电子对测试件的电子枪扫描区域进行扫描轰击。本实用新型可以有效的计算出测试件材料的电子反射率，同时得到材料在固定的冷却能力下，不同的电子扫描功率密度对应的材料表面温度，所得结果对深入研究材料溅射问题具有重要意义。