专利详情

专利名称	一种具有导热件的热蒸发坩埚组件
申请号	CN201721742785.5	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207727136U	公开（授权）日	2018.08.14
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院	发明（设计）人	刘壮;张撷秋;杨世航
主分类号	C23C14/26(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/26(2006.01)I
专利有效期	一种具有导热件的热蒸发坩埚组件至一种具有导热件的热蒸发坩埚组件	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种具有导热件的热蒸发坩埚组件，包括坩埚本体及导热件，坩埚本体设有腔体，导热件嵌于腔体内且与腔体表面接触以进行热量传递，导热件上设有多个在高度方向连通的气体蒸发通道，气体蒸发通道用于导出坩埚本体内产生的蒸发原料气体。本实用新型一种具有导热件的热蒸发坩埚组件，通过热蒸发三维导热件将蒸发原料内部、临近液面处、接近坩埚内壁处连接起来，形成多个小的子蒸发区域。由于三维导热件结构的联通性，使得临近加热源的坩埚壁、底部的热量可以快速传导到坩埚内部和临近液面处，促进在非平衡态下的温度场均匀性，在热蒸发镀膜工艺中起到匀热，导热作用，降低了因温度不均匀导致喷溅的几率。