专利详情

专利名称	用于确定临近催化化学气相沉积中催化剂的热形变的装置
申请号	CN201721701409.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207727144U	公开（授权）日	2018.08.14
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	郭国平;杨晖;李海欧;曹刚;郭光灿
主分类号	C23C16/26(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/26(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I;C23C16/448(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I
专利有效期	用于确定临近催化化学气相沉积中催化剂的热形变的装置至用于确定临近催化化学气相沉积中催化剂的热形变的装置	法律状态
说明书摘要	本申请提供用于确定临近催化化学气相沉积中催化剂的热变形的装置及方法，所述装置包括：在竖直方向上设置的上下加热器；用于控制它们升降的电机；设置在下加热器表面上的用于安放基底的样品台；在样品台和上加热器之间的水平导轨；在水平导轨上的用于安放催化剂的载板，所述载板和样品台之间是用于临近催化化学气相沉积的反应区；设置在样品台与载板之间的光栅尺；用于检测催化剂是否与基底接触的短路检测装置和用于控制样品台升降的控制装置，其中上下加热器用于对反应区提供适合二维材料生长的温度。通过利用本实用新型的装置，可以确定和判断催化剂在不同温度下随时间的热形变量，解决催化剂在高温下的形变对生长所导致的问题。