专利详情

专利名称	一种高密闭性碲镉汞气相外延的石英套管
申请号	CN201611063662.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106435718A	公开（授权）日	2017.02.22
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	王仍;焦翠灵;徐国庆;陆液;张可锋;张莉萍;林杏潮;杜云辰;邵秀华
主分类号	C30B23/02(2006.01)I	IPC主分类号	C30B23/02(2006.01)I;C30B29/48(2006.01)I
专利有效期	一种高密闭性碲镉汞气相外延的石英套管至一种高密闭性碲镉汞气相外延的石英套管	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种用于碲镉汞气相外延生长的石英套管，该石英套管由99.99999％的高纯石英材料制成的石英外管、石英限位管和石英内管和石英塞组成。石英外管是一端封闭，一端开口的圆柱体结构，开口端与封闭门相连。石英限位管为圆柱体杯状结构，放置在石英外管内部，靠近封闭端。石英内管是一个一端封闭，一端带有椎度开口的圆柱体结构。石英塞也有带锥度圆柱体的中空的磨砂口塞子，与石英内管匹配，石英塞与带弹簧的不锈钢管相连。石英内管和石英塞均放置在石英外管内部，靠近封闭门。石英内管内部放置可以进行气相外延的石墨舟。该石英套管用于碲镉汞气相外延生长，实现高密闭性、快速升降温的碲镉汞气相外延生长。