专利详情

专利名称	一种铜铟镓合金靶材的制备方法
申请号	CN201610959814.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106319469A	公开（授权）日	2017.01.11
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	宋伟杰;杨晔;许炜
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;B22F9/08(2006.01)I;B22F1/00(2006.01)I;C22C9/00(2006.01)I;C22C30/02(2006.01)I;C22C28/00(2006.01)I
专利有效期	一种铜铟镓合金靶材的制备方法至一种铜铟镓合金靶材的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种铜铟镓合金靶材的制备方法，采用低温制备技术，将熔点较低的单质铟和单质镓混合熔炼，其所需熔炼温度低，可有效抑制和减少铟和镓的挥发，减少铟和镓的熔炼损失，保证最终制备的靶材的组分含量达到设计要求；该制备方法操作方便、简单，有助于降低靶材的生产成本，其将单质铜粉加入到载气中，直接作为合金中铜元素的来源，载气中加入的单质铜粉的密度高于单纯的载气，可形成较高的动能，在气流撞击液流的过程中，可以实现液流的细化和分散，同时，铜粉撞击液流所形成的动能也较高，使铜易于与铟或者镓形成合金化合物，确保最终得到的合金靶材的组分及性能的均匀性，制备得到的合金靶材致密度高，晶粒尺寸小，电阻率达到要求。