一种氧化铝抛光液的制备方法
- 申请号：CN201610445394.0
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 公开(公开)号：CN106010297A
- 公开(公开)日：2016.10.12
- 法律状态：实质审查的生效
- 出售价格： 面议 立即咨询
专利详情
| 专利名称 | 一种氧化铝抛光液的制备方法 | ||
| 申请号 | CN201610445394.0 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN106010297A | 公开（授权）日 | 2016.10.12 |
| 申请（专利权）人 | 上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 汪为磊;刘卫丽;宋志棠 |
| 主分类号 | C09G1/02(2006.01)I | IPC主分类号 | C09G1/02(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种氧化铝抛光液的制备方法 至一种氧化铝抛光液的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明公开了一种氧化铝抛光液的制备方法，包括如下步骤：1）将硅烷偶联剂、乙醇和水混合形成水解液；2）在95~110℃加热和搅拌条件下，将水解液加入到氧化铝粉末中，保持边搅拌边加热，直至液体挥发完全获得改性氧化铝；3）将改性氧化铝研磨成粉末分散到水里，调节溶液pH为9.5~10.5即为氧化铝抛光液。使用本发明的氧化铝抛光液可达到pH=13.00时的抛光效率，同时抛光片较少有划痕出现。 | ||
交易流程
-
01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
-
05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障
- 用户留言
暂时还没有用户留言