一种精确进针的四探针测试仪
- 申请号：CN201721792688.7
- 专利类型：实用新型
- 申请（专利权）人：中国科学院深圳先进技术研究院
- 公开(公开)号：CN207623414U
- 公开(公开)日：2018.07.17
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 一种精确进针的四探针测试仪 | ||
| 申请号 | CN201721792688.7 | 专利类型 | 实用新型 |
| 公开（公告）号 | CN207623414U | 公开（授权）日 | 2018.07.17 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 李锐;鲁远甫;魏广路;邹建雄;焦国华;吕建成 |
| 主分类号 | G01R27/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R27/02(2006.01)I;G01R31/00(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种精确进针的四探针测试仪 至一种精确进针的四探针测试仪 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种精确进针的四探针测试仪，通过其进针监控系统中的显微镜对进针进行监控，从而实现精确进针，可避免探针扎破薄膜型的待测样品而发生误测，所述四探针测试仪可通过其真空系统为待测样品提供高真空环境，而且其配置的温控系统能在稳定且连续的温度变化下，对待测样品进行加热，从而能精确且便捷地测出待测样品的在温度变化下的方阻、电阻率和电阻温度系数等电学性能参数。 | ||
交易流程
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选取所需
专利 -
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确认专利
可交易 - 03 签订合同
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成功 - 06 支付尾款
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过户资料
平台保障
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