专利详情

专利名称	一种大口径光栅衍射效率的测量装置和测量方法
申请号	CN201610427140.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106124166A	公开（授权）日	2016.11.16
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	邵建达;刘世杰;王圣浩;王微微;张志刚;周游;徐天柱;鲁棋
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种大口径光栅衍射效率的测量装置和测量方法至一种大口径光栅衍射效率的测量装置和测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明专利提出了一种大口径光栅衍射效率的测量装置和测量方法,包括光源、单色器、传输光纤、分束镜、二维扫描机构、样品台、参考光探测器和测试光探测器，根据测量光强度和参考光光强的比值，以及衍射光强度和参考光强度的比值，计算得到大口径光栅单个位置处的衍射效率值，接着利用二维扫描机构在水平和垂直方向扫描光纤测量头，依次得到大口径光栅各个位置处的衍射效率值，从而完成大口径光栅衍射效率的测量。本发明实现了大口径光栅衍射效率的测量，降低了测量系统的构建成本，消除了测量过程中的安全隐患，显著加快了大口径光栅衍射效率的测量速度，同时能保证大口径光栅衍射效率的测量数据具有较好的重复性和复现性。