专利详情

专利名称	一种金属热界面材料的制备装置及方法
申请号	CN201510068006.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105990279A	公开（授权）日	2016.10.05
申请（专利权）人	中国科学院理化技术研究所	发明（设计）人	王磊;刘静
主分类号	H01L23/373(2006.01)I	IPC主分类号	H01L23/373(2006.01)I;B01J19/08(2006.01)I;C09K5/12(2006.01)I
专利有效期	一种金属热界面材料的制备装置及方法至一种金属热界面材料的制备装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明具体涉及一种金属热界面材料的制备装置及方法。本发明制备装置包括磁铁、底板、外电极以及内电极；所述磁铁设置于所述底板下方；所述外电极为柱形圆环，所述内电极为柱形，且所述内电极的半径小于所述外电极的内半径；所述外电极和所述内电极固定于所述底板上，且所述内电极位于所述外电极圆环内。所述外电极与所述内电极之间还可设置加热棒。通过内电极和外电极之间的环形空间形成液态金属的搅拌运动通道，安培力作用到金属流体内部的每个体积元上，使得金属流体整体受力运动，加热棒在加热的同时也起到搅拌的作用。同时施加可变方向电压，可以变换搅拌方向；电压加大时，液态金属表面会扭曲翻滚，提高了掺混效率和材料的均匀度。