一种极紫外光学元件表面污染层厚度控制方法及装置
- 申请号：CN201510962345.X
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 公开(公开)号：CN106249550A
- 公开(公开)日：2016.12.21
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种极紫外光学元件表面污染层厚度控制方法及装置 | ||
| 申请号 | CN201510962345.X | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN106249550A | 公开（授权）日 | 2016.12.21 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 邓文渊;金春水;喻波;姚舜;靳京城 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种极紫外光学元件表面污染层厚度控制方法及装置 至一种极紫外光学元件表面污染层厚度控制方法及装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明提供的极紫外光学元件表面污染层厚度控制方法及装置，在真空环境中，通过实时检测极紫外光学元件表面的污染层厚度，当污染层厚度达到预设的第一阈值，即超出允许的范围时对污染层进行清洗，控制污染层的厚度在允许的范围之内，不需要对极紫外光学元件所处环境进行切换，控制过程简单。 | ||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
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过户资料
平台保障
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