专利详情

专利名称	一种微型快速升降温退火炉
申请号	CN201610704094.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106222753A	公开（授权）日	2016.12.14
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	李强;崔金明;许金时;李传锋
主分类号	C30B33/02(2006.01)I	IPC主分类号	C30B33/02(2006.01)I
专利有效期	一种微型快速升降温退火炉至一种微型快速升降温退火炉	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种微型快速升降温退火炉，主要包括：真空腔体、“三明治”结构加热平台、热电偶温度传感器、PID温度控制器、定时器、直流电源、稳压电源、炉体支架等。真空腔体由四通管道和密封罩构成，并用KF法兰密封，方便取放样品；退火炉整体采用CF法兰密封，腔室内易于达到气压低于10^?5Pa的高真空水平；“三明治”结构加热平台由石英支撑板、金属加热薄片和石英样品台构成，加热部件体积小，易于实现快速升降温，无需设置价格高昂的红外加热装置、冷却辅助装置，有效降低快速升降温退火炉的整体成本。本发明具有体积小、能耗低、成本低、操作和维修简便等特点。本发明可以用于小样品的常温退火、快速高温退火、热氧化、通气热处理等。