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三维指向稳定系统

  • 申请号:CN201610529947.0
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院生物物理研究所
  • 公开(公开)号:CN105928458A
  • 公开(公开)日:2016.09.07
  • 法律状态:著录事项变更
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 三维指向稳定系统
申请号 CN201610529947.0 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN105928458A 公开(授权)日 2016.09.07
申请(专利权)人 中国科学院生物物理研究所 发明(设计)人 罗志勇;付彦辉;张祥;徐涛
主分类号 G01B11/00(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/00(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I
专利有效期 三维指向稳定系统 至三维指向稳定系统 法律状态 著录事项变更
说明书摘要 本发明属于光学微观测量技术领域,涉及一种三维指向稳定系统,激光器A后在水平光路上依次安装有棱镜、第一分光棱镜、第二分光棱镜、第三分光棱镜、透镜、样品位移台;棱镜垂直向下分光的光路上安装有激光器B;第一分光棱镜垂直向上分光的光路上安装有激光功率稳定系统;第二分光棱镜垂直向下分光的光路上安装有轴向测量系统;第三分光棱镜垂直向上分光的光路上安装有垂轴测量系统;本发明提供的三维指向稳定系统,在激光光源功率稳定的前提下,将共焦测量技术和四象限探测技术相融合,对比共焦响应曲线和四象限变化指向曲线,实现系统三维漂移监测与方向判断,有效避免了系统本身、空气扰动等环境干扰对测量精度的影响。

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