专利详情

专利名称	基于空间光程差调制的光程差测量方法及其装置
申请号	CN201610261978.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105910630A	公开（授权）日	2016.08.31
申请（专利权）人	中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所	发明（设计）人	孙长胜;朱永田;胡中文;徐腾
主分类号	G01D5/28(2006.01)I	IPC主分类号	G01D5/28(2006.01)I
专利有效期	基于空间光程差调制的光程差测量方法及其装置至基于空间光程差调制的光程差测量方法及其装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	基于空间光程差调制的光程差测量方法及其装置：⑴.宽带LED透过小圆孔为光源；⑵.经准直透镜成为准直光束；⑶.第一平板分束器耦合激光和白光；⑷.耦合后经第二平板分束器分为完全相同的两束光；⑸.两束光分别经过相同的反射镜和角隅棱镜，其中一个角隅棱镜放置在高精度直线电机平移台上，以提供高精度光程差控制；⑹.两束光经第三平板分束器合束，同时提供两束光之间的微小倾角；⑺.成像透镜将两束光形成的干涉条纹成像到电荷耦合元件探测器上；⑻.使用算法提取干涉条纹位置；（9）.计算两光束之间的光程差，得到测量结果。本发明对大气湍流不敏感。最大误差0.159微米，小于平均波长。精度满足条纹相干的要求。