一种无铝型II类超晶格长波双势垒红外探测器
- 申请号:CN201610351898.6
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院上海技术物理研究所
- 公开(公开)号:CN105789364A
- 公开(公开)日:2016.07.20
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 一种无铝型II类超晶格长波双势垒红外探测器 | ||
申请号 | CN201610351898.6 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN105789364A | 公开(授权)日 | 2016.07.20 |
申请(专利权)人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明(设计)人 | 周易;陈建新;王芳芳;徐志成 |
主分类号 | H01L31/101(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/101(2006.01)I;H01L31/11(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I |
专利有效期 | 一种无铝型II类超晶格长波双势垒红外探测器 至一种无铝型II类超晶格长波双势垒红外探测器 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明公开了一种无铝型II类超晶格双势垒长波红外探测器,其具体结构为GaSb衬底向上依次为超晶格长波N型接触层、超晶格空穴势垒层、超晶格长波吸收区、超晶格中波电子势垒层和超晶格长波P型接触层,上电极TiPtAu位于超晶格长波N型接触层上,下电极TiPtAu位于超晶格长波P型接触层上。本发明公开的结构利用无铝型双势垒的设计和引入获得暗电流小、探测率高,信噪比大的长波超晶格红外探测器。 |
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