专利详情

专利名称	一种镀膜机及其系统
申请号	CN201721698046.0	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207552433U	公开（授权）日	2018.06.29
申请（专利权）人	成都中科唯实仪器有限责任公司	发明（设计）人	雷梁;魏琼林;蒙志林;冉从军;何吉刚;李小强
主分类号	C23C14/24(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/24(2006.01)I;C23C14/26(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I
专利有效期	一种镀膜机及其系统至一种镀膜机及其系统	法律状态
说明书摘要	一种镀膜机及其系统，其涉及镀膜设备领域。该镀膜机通过可拆卸集成设置蒸碳组件、溅射组件和镀膜组件，使得蒸碳组件、溅射组件和镀膜组件之间能够任意拼装组合，从而在一台镀膜机上即可实现蒸碳、溅射和镀膜三项功能；通过配置膜厚仪，实现了镀膜过程中对于膜厚的实时监控；通过设置溅射试验、溅射定时设定功能，实现在设定时间内自动完成溅射流程；通过采用向下蒸碳模式和与带有拉力弹簧的蒸碳组件进行配合使用，实现了蒸碳过程中碳消耗量的自适应调节。因此，上述的镀膜机及其系统，能够集成蒸碳、溅射和镀膜三项功能于一体，降低了使用者的综合购买成本，提高了蒸碳、溅射和镀膜时的工作效率，具备较高的市场推广应用价值。