专利详情

专利名称	空间反射镜真空镀膜夹具
申请号	CN201721316676.7	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207525328U	公开（授权）日	2018.06.22
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	袁海涛;邓容;孙胜利;王成彬;李耀鹏
主分类号	C23C14/50(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/50(2006.01)I
专利有效期	空间反射镜真空镀膜夹具至空间反射镜真空镀膜夹具	法律状态
说明书摘要	本专利公开了一种空间反射镜真空镀膜夹具，该夹具包括承载主体、承载方形梁、垂直吊杆、反射镜支撑装置。承载主体上端与电机装置连接，四个承载方形梁均匀分布于承载主体圆柱上，垂直吊杆配合孔与承载方形梁连接，反射镜支撑装置用螺钉连接到垂直吊杆上。反射镜由反射镜支撑装置的安装接口安装至夹具上。夹具与真空罐内电机装置相连接，由电机装置带动夹具转动进行镀膜工作。本专利的优点在于：结构稳定简单、强度高、易装配、总重量轻负载小、以及良好的互换性；夹具采用实体钢梁和钢杆结构可避免多余可挥发物的污染风险；本专利的反射镜支撑装置采用独立可拆卸方式实现反射镜的翻转，从而出色完成反射镜镜面和背面的镀膜任务。