专利详情

专利名称	一种室温可调控的亚太赫兹波探测器及制备方法
申请号	CN201610894003.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106374006A	公开（授权）日	2017.02.01
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	王林;刘昌龙;唐伟伟;郭万龙;陈效双;陆卫
主分类号	H01L31/102(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/102(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/028(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	一种室温可调控的亚太赫兹波探测器及制备方法至一种室温可调控的亚太赫兹波探测器及制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种室温可调控的亚太赫兹波探测器及制备方法，以具有高迁移率且载流子浓度可调的石墨烯场效应晶体管为基本结构单元，场效应晶体管具有一组亚太赫兹波耦合天线的源漏电极和劈裂栅极。所述探测器在蓝宝石衬底上集成对数周期天线以及相应的引线电极；在天线间距中转移的石墨烯导电沟道；在石墨烯导电沟道上有氧化铝栅介质层，最后，在石墨烯导电沟道的氧化铝栅介质层上集成劈裂栅极以及相应的引线电极，实现可调控的亚太赫兹波探测。本发明的优点在于：高速、宽频、响应高且可调控的类光导与类光伏探测器；器件的集成度、工艺成熟及可重复性，为实现太赫兹探测器大规模应用奠定基础。