专利详情

专利名称	一种可标定系统误差的系统波像差检测方法
申请号	CN201610880580.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106292202A	公开（授权）日	2017.01.04
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	于长淞;高松涛;彭石军;苗二龙;隋永新;杨怀江
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种可标定系统误差的系统波像差检测方法至一种可标定系统误差的系统波像差检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种可标定系统误差的系统波像差检测方法，将被测投影物镜的系统波像差与剪切干涉检测系统的系统误差相减，获得被测投影物镜实际波像差，消除了系统误差的影响，提高了测量精度；采用的小孔空间滤波器可以起到滤波的作用，可以消除照明系统及第一汇聚透镜所导致的像差，提高了系统波像差的检测精度；空间滤波器使得只有±1级衍射光才能通过空间滤波器中的窗口，零级以及更高级次的衍射光都被空间滤波器截至，从而使得噪声减小并且测量精度获得改善。