专利详情

专利名称	一种基于碳纳米红外吸收层的红外探测器
申请号	CN201610566514.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106092334A	公开（授权）日	2016.11.09
申请（专利权）人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院	发明（设计）人	魏兴战;杨俊;冯双龙;申钧;周大华;汤林龙;史浩飞;杜春雷
主分类号	G01J5/20(2006.01)I	IPC主分类号	G01J5/20(2006.01)I
专利有效期	一种基于碳纳米红外吸收层的红外探测器至一种基于碳纳米红外吸收层的红外探测器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种基于碳纳米红外吸收层的红外探测器，包括第一氮化硅层，所述第一氮化硅层向下依次为第一碳纳米红外吸收层，第二氮化硅层，热敏电阻层和第四氮化硅层；所述第一氮化硅层、第一碳纳米红外吸收层和第二氮化硅层构成红外探测器的宽波段红外吸收复合膜；所述第四氮化硅层和金属反射层之间通过支撑桥墩形成红外吸收谐振腔；所述金属反射层位于硅衬底之上。本发明的红外探测器能够实现宽波段红外吸收增强，从而提高器件的探测灵敏度，器件结构简单，兼容MEMS工艺，适合批量生产。