专利详情

专利名称	一种气氛可控多器件场效应晶体管密封测试装置
申请号	CN201610557234.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105973967A	公开（授权）日	2016.09.28
申请（专利权）人	中国科学院福建物质结构研究所	发明（设计）人	姚明水;徐刚
主分类号	G01N27/414(2006.01)I	IPC主分类号	G01N27/414(2006.01)I
专利有效期	一种气氛可控多器件场效应晶体管密封测试装置至一种气氛可控多器件场效应晶体管密封测试装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种气氛可控多器件场效应晶体管(FET)密封测试装置，属于物理测试技术领域。装置分为两个部分：气氛控制单元，包括进气管、出气管、真空表和真空泵；测试单元，包括样品台和电极引出装置，样品台与电极引出装置连接，电极引出装置引出的电极线与数字源表的连接。本装置使用气氛可控，与湿度发生罐、标准气配合能实现不同气氛的调节，与真空泵配合可实现真空气氛，利于质子型FET，气敏FET的性能表征。整个装置可设计为金属环绕，实现法拉第笼的电磁屏蔽功能，利于纳安及以下的精细电流测量。本装置还可实现多个器件同时测量。