专利详情

专利名称	基于单次曝光模式的光栅衍射效率光谱的测量装置和方法
申请号	CN201610242396.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105928688A	公开（授权）日	2016.09.07
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	刘世杰;王圣浩;张志刚;李灵巧;王微微;周游;潘本威;白云波
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I;G01J3/28(2006.01)I
专利有效期	基于单次曝光模式的光栅衍射效率光谱的测量装置和方法至基于单次曝光模式的光栅衍射效率光谱的测量装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量装置,包括光源模块、参考光模块和测试光模块，光源模块为测试系统提供光源，参考光模块由凹面准直镜、标准参考光栅、凹面聚焦镜和线阵CCD探测器组成，用于测量参考光束的光谱参数；测试光模块由凹面准直镜、待测光栅、凹面聚焦镜和线阵CCD探测器组成，用于测量测试光束的光谱参数。本发明提高了光栅衍射效率光谱的测试速度，可以实现超快速的光栅衍射效率光谱的测量，可以应用于原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量环境中；在测量过程中，仪器的所有机械结构保持静止，测试系统因而具有较高的机械稳定性。