专利详情

专利名称	一种光学系统立式装检装置及装检方法
申请号	CN201610322142.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105910552A	公开（授权）日	2016.08.31
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	康晓鹏;付兴;李华;王鹏;刘军鹏
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种光学系统立式装检装置及装检方法至一种光学系统立式装检装置及装检方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种光学系统立式装检装置及装检方法，属于精密光学应用技术领域，该装检装置包括调整转台及在调整转台上自下至上依次设置的3个调整支架；调整转台用于放置被装检零件，3个调整支架安装在一固定安装架上，自下至上分别为补偿镜调整支架、干涉仪调整支架和自准平面镜调整支架；3个调整支架均包括竖向导轨和横向导轨，所述竖向导轨与固定安装架固连，横向导轨能够沿竖向导轨上下滑动；本发明能够避免由于重力原因引起的面形问题，装检光路可自由组合调节，可满足不同光学系统的检测需求。