专利详情

专利名称	一种接触力可控型反射镜检测浮动支撑装置
申请号	CN201610405784.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105910572A	公开（授权）日	2016.08.31
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	张珑;郑列华;张金平;叶璐;刘政;胡文琦
主分类号	G01B21/20(2006.01)I	IPC主分类号	G01B21/20(2006.01)I;G01L5/00(2006.01)I
专利有效期	一种接触力可控型反射镜检测浮动支撑装置至一种接触力可控型反射镜检测浮动支撑装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种接触力可控型反射镜检测浮动支撑，包括：橡胶垫、面力传感器、浮动头、顶杆、平衡杠杆、芯轴、轴承座、销轴、轴承、支撑杆、气缸座、小轴、接头、气缸安装板、气缸。气缸通过平衡杠杆驱动顶杆，带动浮动头及橡胶垫为反射镜提供支撑力。其优点是：安装在橡胶垫和浮动头之间的面力传感器，可检测浮动支撑对反射镜的接触力大小及分布。精确控制气缸气压大小可控制支撑力的大小，力重复性高。平衡杠杆及气缸随芯轴通过轴承安装在轴承座上，可在轴承座内自由转动，顶杆会自动保持在竖直向上的方向，方便为镜子提供竖直向上的支撑力。