专利详情

专利名称	一种长程面形测量装置
申请号	CN201610101564.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105737759A	公开（授权）日	2016.07.06
申请（专利权）人	中国科学院上海应用物理研究所	发明（设计）人	彭川黔;何玉梅;王劼
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种长程面形测量装置至一种长程面形测量装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种长程面形测量装置，用于对待测光学器件的表面进行面形检测，其包括移动光学头，该移动光学头包括面光源、单孔屏、分束镜、傅里叶变换透镜及面阵探测器，所述分束镜紧贴在所述单孔屏的上表面，所述单孔屏设置在所述面光源一侧并与所述面光源呈一倾斜角度，使面光源法线方向光束能通过单孔屏屏孔部分分束镜垂直反射到待测光学器件表面，所述傅里叶变换透镜水平设置在所述分束镜上方，所述面阵探测器水平设置在所述傅里叶变换透镜上方。本发明减少了测量不同角度时测量光束横移引入的系统误差，从而提高了测量精度。