专利详情

专利名称	一种真空设备用可伸缩气体源装置
申请号	CN201721259910.7	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207452251U	公开（授权）日	2018.06.05
申请（专利权）人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院;重庆大学	发明（设计）人	李昕;史浩飞;杨小东;唐文新
主分类号	C23C16/455(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/455(2006.01)I
专利有效期	一种真空设备用可伸缩气体源装置至一种真空设备用可伸缩气体源装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型提出一种真空设备用可伸缩气体源装置，包括固定座，与真空设备的高真空腔室通过真空密封法兰固接；毛细气管，与固定座通过伸缩机构相连；伸缩机构，由至少两节伸缩管、弹簧、拉伸丝、绕线辊、旋转装置组成；微型电动阀，固定在圆环上；外部气体连接管，与伸缩管相对于固定座异侧布置，且与伸缩管连通；电极导入装置，与伸缩管相对于固定座异侧布置。本实用新型装置用以在高真空环境中进行反应，生长过程的原位观测，同时本实用新型提出一种利用脉冲局域的气体供应，可以在脉冲停止的时间窗口获得较好的真空度，从而可以利用该窗口来获得样品信息。