光刻投影物镜热像差在线预测方法
- 申请号：CN201710440136.8
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN107121893A
- 公开(公开)日：2017.09.01
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 光刻投影物镜热像差在线预测方法 | ||
| 申请号 | CN201710440136.8 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN107121893A | 公开（授权）日 | 2017.09.01 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 茅言杰;李思坤;王向朝 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I |
| 专利有效期 | 光刻投影物镜热像差在线预测方法 至光刻投影物镜热像差在线预测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种光刻投影物镜热像差在线预测方法。本方法在光刻照明参数和掩模配置以及工作时序确定的情况下，在曝光间隙通过热像差传感器测量热像差，基于双指数模型建立像质参数的状态转移方程，结合测量数据利用粒子滤波算法预测曝光期间投影物镜的热像差。相比于在先技术，本发明可以更为快速准确地预测投影物镜的热像差。 | ||
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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