专利详情

专利名称	一种适用于氟化钙凹锥镜高效加工的联合工艺方法
申请号	CN201610838489.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106271901A	公开（授权）日	2017.01.04
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	钟显云;张郅昂;杨金山;陈强;李良红
主分类号	B24B1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B24B1/00(2006.01)I;B24B13/00(2006.01)I;B24B13/01(2006.01)I
专利有效期	一种适用于氟化钙凹锥镜高效加工的联合工艺方法至一种适用于氟化钙凹锥镜高效加工的联合工艺方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种适用于氟化钙凹锥镜高效加工的联合工艺方法，该方法充分考虑了氟化钙晶体的材料特性及凹锥面异形结构特性，将加工流程分为成型、面形精度提升、粗糙度提升三个环节并分别采用直线成型铣磨、金刚石车削技术及直线磁力棒磨削三种联合工艺进行加工，对氟化钙凹锥的直线度、锥角度、面形精度、粗糙度等技术瓶颈进行各个击破。该联合工艺加工效率高，锥角精度准确，面形精度及粗糙度可控、稳定，突破了国内现有工艺无法加工氟化钙凹锥异形曲面的技术瓶颈，为我国开展光刻机投影曝光光学系统的研制提供技术保障。