专利详情

专利名称	一种紫外曝光机的LED曝光装置及其紫外曝光机
申请号	CN201721422921.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207337074U	公开（授权）日	2018.05.08
申请（专利权）人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院;张家港奇点光电科技有限公司	发明（设计）人	谭艾英;杨若夫;孙秀辉;尹韶云;蔡文涛;陈建军
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种紫外曝光机的LED曝光装置及其紫外曝光机至一种紫外曝光机的LED曝光装置及其紫外曝光机	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种紫外曝光机的LED曝光装置，包括滑动基板，滑动基板上固定有LED光源模块，两排LED光源模块的其中一排的LED光源模块的曝光有效面边缘与另一排对应的LED光源模块的曝光有效面重合；目标面所需的光照面X方向的尺寸为L_x，Y方向的尺寸为L_y，LED光源模块的曝光有效面在X方向的尺寸为L_x1，Y方向的尺寸为L_y1；若L_x＜L_y，所需LED光源模块的数量N＝L_x/L_x1，滑动基板的滑动方向与Y方向相同；若L_x＞L_y，所需LED光源模块的数量N＝L_y/L_y1，滑动基板的滑动方向与X方向相同。该曝光装置利用相互错开排列的LED光源模块扫描形成大面积均匀的照明光斑，降低了成本。