专利详情

专利名称	一种制备过渡金属一氧化物粉体、靶材和薄膜的方法
申请号	CN201611247869.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106673047A	公开（授权）日	2017.05.17
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	黄富强;王东;黄冲
主分类号	C01G1/02(2006.01)I	IPC主分类号	C01G1/02(2006.01)I
专利有效期	一种制备过渡金属一氧化物粉体、靶材和薄膜的方法至一种制备过渡金属一氧化物粉体、靶材和薄膜的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种制备过渡金属一氧化物粉体、靶材和薄膜的方法，所述方法包括：将摩尔比1:1～1.2:1的过渡金属M粉末和过渡金属M的氧化物粉末作为反应原料，与质量为反应原料总质量的0.5～2.5倍、优选0.5～2倍的碱金属卤化物充分混合后，真空封装于反应器中，于900～1100摄氏度反应5～10小时，得到过渡金属一氧化物粉体，将该过渡金属一氧化物粉体进行放电等离子体烧结，得到过渡金属一氧化物靶材，并将该过渡金属一氧化物靶材生长薄膜，得到过渡金属一氧化物薄膜。本发明能够低温、快速制备过渡金属一氧化物粉体、靶材和薄膜。