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一种位移测量光学系统

  • 申请号:CN201710123810.X
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 公开(公开)号:CN106643478A
  • 公开(公开)日:2017.05.10
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种位移测量光学系统
申请号 CN201710123810.X 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN106643478A 公开(授权)日 2017.05.10
申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 姚东;沈宏海;李全超;陈成;张嬛
主分类号 G01B9/02(2006.01)I IPC主分类号 G01B9/02(2006.01)I
专利有效期 一种位移测量光学系统 至一种位移测量光学系统 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了一种位移测量光学系统,包括激光光源、第一偏振分光棱镜、导光棱镜组、反射镜、偏振变换元件、第二偏振分光棱镜、光电转换器和处理系统。本发明位移测量光学系统,采用偏振分光元件对光源输出光进行分光,以偏振光作为参考光和测量光,基于激光干涉测量原理实现对物体位移的测量,可实现对大范围位移的高精度测量,并且与现有技术相比,本光学系统分光时对光源输出光能量损失小,提高了光源能量利用率,并且具有紧凑结构。

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