专利详情

专利名称	一种薄膜应力测试用衬底夹具
申请号	CN201721042157.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207300461U	公开（授权）日	2018.05.01
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院	发明（设计）人	唐永炳;石磊;蒋春磊
主分类号	G01L1/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01L1/24(2006.01)I
专利有效期	一种薄膜应力测试用衬底夹具至一种薄膜应力测试用衬底夹具	法律状态
说明书摘要	本实用新型提供了一种薄膜应力测试用衬底夹具，属于夹具技术领域包括基座和夹片；基座上设置有多个装夹部，靠近每个装夹部的两端分别设置有装夹孔；夹片上设置有连接孔，连接件依次穿过连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在装夹部上，且基座的一端还设置有悬挂孔。本方案中，装夹部可以是平槽，连接件依次穿过连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在平槽上，保证镀膜面尽量少的受到治具影响的同时，又保证样品背面被完全遮挡，解决了现有技术中镀膜时采用的样品(长条状)只能有一面进行镀膜，另一面必须进行完全遮挡，给操作带来不必要的麻烦，同时镀膜面受到夹具的影响较大，使镀膜的效果差的技术问题。