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一种用于高精度标准镜的无应力装夹柔性装置

  • 申请号:CN201721177618.0
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院西安光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN207301440U
  • 公开(公开)日:2018.05.01
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种用于高精度标准镜的无应力装夹柔性装置
申请号 CN201721177618.0 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN207301440U 公开(授权)日 2018.05.01
申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 丁蛟腾;许亮;马臻;罗瑶;凤良杰;庞志海
主分类号 G02B7/00(2006.01)I IPC主分类号 G02B7/00(2006.01)I
专利有效期 一种用于高精度标准镜的无应力装夹柔性装置 至一种用于高精度标准镜的无应力装夹柔性装置 法律状态
说明书摘要 本实用新型涉及一种用于高精度标准镜的无应力装夹柔性装置,包括柔性框、压圈和标准镜镜框,柔性框设置有多条半径相同的圆弧形狭缝,将柔性框分为内圈和外圈,内圈和外圈通过挠性构件相连;柔性框内圈侧面设置有多个注胶孔;标准镜通过注胶孔中的胶粘剂与柔性框内圈固定;标准镜镜框为底部开有圆孔的桶状部件,圆孔半径小于标准镜的半径,柔性框套装在标准镜镜框内,标准镜镜框的底部与柔性框外圈的一个端面的靠面部分具有凸台,压圈设置在柔性框外圈的另一个端面,压圈与柔性框外圈的靠面部分具有凸台;标准镜镜框上设置有与干涉仪连接的标准接口。标准镜与其支撑结构之间的热特性不匹配通过挠性结构的变形补偿,减小温度变化对面形影响。

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