专利详情

专利名称	基于离子束溅射沉积薄膜的面形可控保偏分色片
申请号	CN201721095133.7	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207281318U	公开（授权）日	2018.04.27
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	马冲;陈刚;刘定权;李大琪
主分类号	G02B1/115(2015.01)I	IPC主分类号	G02B1/115(2015.01)I;G02B27/28(2006.01)I
专利有效期	基于离子束溅射沉积薄膜的面形可控保偏分色片至基于离子束溅射沉积薄膜的面形可控保偏分色片	法律状态
说明书摘要	本专利公开了一种基于离子束溅射沉积薄膜的面形可控保偏分色片。该保偏分色片以石英为基底，Ta₂O₅和SiO₂分别作为高、低折射率镀膜材料，光线22.5°倾斜入射。采用离子束溅射薄膜沉积工艺，基片的一侧镀制保偏分色膜层，实现光谱分色控制以及保偏控制；基片的另一侧镀制应力匹配的增透膜层，在保证保偏分色片分色性能及保偏性能的同时，抵消主镀膜面的部分应力值，减小主镀膜表面的曲率半径，实现保偏分色片面形的控制。其应用于量子通信实验中，具有分色性能高效，保偏性能优异，面形可控等特点。