专利详情

专利名称	具有位置调节功能的嵌套式支承结构
申请号	CN201720875513.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207301618U	公开（授权）日	2018.05.01
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	齐威;齐月静;王宇;卢增雄;杨光华;李兵;刘斌;郭馨
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	具有位置调节功能的嵌套式支承结构至具有位置调节功能的嵌套式支承结构	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及具有位置调节功能的嵌套式支承结构，其包括内支承架和支承并调节所述内支承架的外支承架，内支承架设置有沿横向X方向和纵向Y方向凸出的多个突出部；外支承架由沿横向X方向延伸的两个相对布置的横向延伸部和沿纵向Y方向延伸的两个相对布置的纵向延伸部构成，使得外支承架成型为沿着内支承架的四周围绕内支承架，并且外支承架设置有分别与内支承架的突出部相对应的开口，使得内支承架的突出部能够嵌入外支承架的开口中，从而使外支承架以嵌套的形式支承内支承架。其中，外支承架在开口处分别设置有位置调节件，位置调节件能够沿横向X方向、纵向Y方向和竖向Z方向作用于内支承架的相应突出部，从而调节内支承架的六自由度。