专利详情

专利名称	L型静电驱动微型机器人、制造方法与控制方法
申请号	CN201710034772.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106829852A	公开（授权）日	2017.06.13
申请（专利权）人	中国科学院深圳先进技术研究院	发明（设计）人	李晖;陈静;张南南;王磊
主分类号	B81C1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B81C1/00(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I
专利有效期	L型静电驱动微型机器人、制造方法与控制方法至L型静电驱动微型机器人、制造方法与控制方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种L型静电驱动微型机器人、制造方法与控制方法。该L型静电驱动微型机器人的制造方法包括以下步骤：步骤S10：制备牺牲层；步骤S20：制造处理第一光刻胶层；步骤S30：制造处理第二光刻胶层；步骤S40：对第一光刻胶层、第二光刻胶层的曝光区域进行显影，除去第一光刻胶层和第二光刻胶层的未曝光区域，从而形成L型结构；步骤S50：对远离牺牲层的L型结构的表面溅射沉积导电金属层，并除去牺牲层。应用该L型静电驱动微型机器人的制造方法所制造的微型机器人解决了现有技术中微型机器人无法同时满足微型化、驱动力大、频率响应高、供能方便简单、耗能小、且控制精确的要求的问题。