欢迎来到喀斯玛汇智科技服务平台

服务热线: 010-82648522

首页 > 专利推荐 > 专利详情

激光退火装置及方法

  • 申请号:CN201611110318.0
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
  • 公开(公开)号:CN106409733A
  • 公开(公开)日:2017.02.15
  • 法律状态:公开
  • 出售价格: 面议
  • 立即咨询

专利详情

专利名称 激光退火装置及方法
申请号 CN201611110318.0 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN106409733A 公开(授权)日 2017.02.15
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 张紫辰;王晓峰;潘岭峰
主分类号 H01L21/67(2006.01)I IPC主分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/268(2006.01)I
专利有效期 激光退火装置及方法 至激光退火装置及方法 法律状态 公开
说明书摘要 本发明提供的激光退火装置及方法,包括激光器,用于发射激光,形成所述激光退火装置需要的光源;光学系统,用于将所述激光器发射的激光整形为线形平顶光斑后,发射到样品表面;样品位移系统,用于盛放所述样品,并调整所述样品的位置。通过选择合适的激光波长可以使得有效加热深度位于样品表面以下数纳米至微米之间,提高了杂质的有效激活率,修复了器件在离子注入过程中带来的损伤,从而降低样品材料的方块电阻以及器件功耗。

交易流程

  • 01 选取所需
    专利
  • 02 确认专利
    可交易
  • 03 签订合同
  • 04 上报材料
  • 05 确认变更
    成功
  • 06 支付尾款
  • 07 交付证书

平台保障

1、源头对接,价格透明

2、平台验证,实名审核

3、合同监控,代办手续

4、专员跟进,交易保障

  • 用户留言
暂时还没有用户留言

求购专利

专利交易流程

  • 01 选取所需专利
  • 02 确认专利可交易
  • 03 签订合同
  • 04 上报材料
  • 05 确认变更成功
  • 06 支付尾款
  • 07 交付证书
官方客服(周一至周五:8:30-17:30) 010-82648522