专利详情

专利名称	激光诱导瞬态热探针的纳米光刻方法
申请号	CN201610580128.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106227000A	公开（授权）日	2016.12.14
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	魏劲松;魏涛
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G03F7/26(2006.01)I
专利有效期	激光诱导瞬态热探针的纳米光刻方法至激光诱导瞬态热探针的纳米光刻方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种基于激光诱导瞬态热探针的纳米光刻方法，其特征在于当准直的激光束聚焦到非线性材料时，诱导出材料的非线性特性。由于激光强度的高斯分布特点，使激光中心区域的能量最高，并沿着径向逐渐减弱，激光能量转化为材料的温度差，从而在非线性材料内部诱导产生瞬态热探针。在光刻过程中，激光束打开，热探针形成；激光束关闭，热探针消失。形成的热探针随着激光束自由移动，热探针的形成与关闭是动态的、可逆的。本发明简单实用，不需要复杂的操作，特别适用于透明材料的微纳结构制造，能获得纳米尺度的特征线宽。