专利详情

专利名称	一种高精度平面子孔径拼接检测方法
申请号	CN201610223513.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105890541A	公开（授权）日	2016.08.24
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	朱鹏辉;唐锋;卢云君;王向朝;方伟;李杰;彭尝哲
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种高精度平面子孔径拼接检测方法至一种高精度平面子孔径拼接检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种高精度平面子孔径拼接检测方法，包含搭建子孔径拼接检测装置；对待测光学元件的该部分面形进行测量，得到该子孔径面形数据并保存；计算重叠区域局部斜率差：利用重叠区域局部斜率差通过第4项和第6项Zernike像差拟合准参考镜面形；减去所拟合的准参考镜面形，得到去除准参考镜面形的子孔径面形数据；去倾斜和平移得到全口径面形。本发明能够有效去除x方向和y方向两种拼接累积误差，同时保证拼接连续而没有拼接痕迹，提高了平面面形子孔径拼接检测的精度，不需要增加额外的辅助部件或标定流程，具有易实现、精度高、不增加系统成本的优点。