专利详情

专利名称	基于MEMS微振镜的微型光谱仪、气体传感器
申请号	CN201720866592.4	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207163900U	公开（授权）日	2018.03.30
申请（专利权）人	中国科学院上海高等研究院	发明（设计）人	王中阳;李文文
主分类号	G01N21/31(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/31(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G02B26/08(2006.01)I
专利有效期	基于MEMS微振镜的微型光谱仪、气体传感器至基于MEMS微振镜的微型光谱仪、气体传感器	法律状态
说明书摘要	本实用新型提供一种基于MEMS微振镜的微型光谱仪、气体传感器，包括：光会聚模块；微振镜模块，设置于光会聚模块的出射光路上，接收光会聚模块射出的光并进行不同角度的反射；滤光模块，设置于微振镜模块的出射光路上，接收振镜模块反射的光并进行过滤，得到若干个不同波长单色光的光信号；探测模块，与滤光模块相连接，设置于所述光会聚模块所会聚的光的焦点位置，读出滤光模块所得到的光信号以获得光谱图。通过上述方案，本实用新型的光谱仪采用集成滤光片及基于MEMS技术的微振镜，简化了传统机械结构以及光栅棱镜等大型器件，使光谱仪集成化高、体积小，提高了单位像元光强度和光利用效率、信噪比及测量精度和灵敏度，降低了光谱仪整体功耗。