专利详情

专利名称	一种基于啁啾光栅间隙检测与控制的超分辨光刻装置
申请号	CN201611122015.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106547173A	公开（授权）日	2017.03.29
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	罗先刚;王彦钦;马晓亮;赵泽宇;高平;李雄
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种基于啁啾光栅间隙检测与控制的超分辨光刻装置至一种基于啁啾光栅间隙检测与控制的超分辨光刻装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明是一种基于啁啾光栅间隙检测与控制的超分辨光刻装置，属于超分辨光刻装置的改进和创新技术领域。该装置的特点在于包括超精密环控系统、主动隔振平台、支撑框架、光源、间隙检测系统、对准模块、光刻镜头模块、承片台模块和控制系统。该装置通过啁啾光栅衍射成像技术，实现了纳米量级的在线间隙检测和控制；实现了间隙曝光，有效的保护了超分辨光刻器件；通过激光干涉仪、精密位移台、纳米位移台、对准模块和间隙检测模块进行反馈控制，实现了超精密套刻对准和步进光刻功能。