专利详情

专利名称	一种柔性制作曲面仿生复眼结构的方法
申请号	CN201610808686.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106199781A	公开（授权）日	2016.12.07
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	李木军;黄胜洲;沈连婠
主分类号	G02B3/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B3/00(2006.01)I
专利有效期	一种柔性制作曲面仿生复眼结构的方法至一种柔性制作曲面仿生复眼结构的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种柔性制作曲面仿生复眼结构的方法，步骤如下：在衬底上旋涂三层正性光刻胶，其中底层和顶层的光刻胶为AZ4620光刻胶，中间层为S1813光刻胶；进行两次无掩膜曝光，第一次完全曝透三层光刻胶，第二次只曝透中间层和顶层的光刻胶；显影得到初步的多级结构；连续进行两次热回流工艺处理，第一次普通热回流得到复眼大透镜结构，第二次倒置非接触式热回流得到复眼大透镜上分布的小透镜阵列结构。本发明具有工艺操作简单、加工周期短、成本低以及形状可控等优点，能够很好的满足大视场成像的要求。