专利详情

专利名称	一种电子背散射衍射仪样品台
申请号	CN201721127597.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN207133209U	公开（授权）日	2018.03.23
申请（专利权）人	中国科学院金属研究所	发明（设计）人	马广财;张重远
主分类号	G01N23/203(2006.01)I	IPC主分类号	G01N23/203(2006.01)I;H01J37/20(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I
专利有效期	一种电子背散射衍射仪样品台至一种电子背散射衍射仪样品台	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种电子背散射衍射仪样品台，属于金属材料分析测试技术领域。该样品台包括固定面、底座、真空电机和旋转台。固定底座的固定面与底座呈70°夹角，固定面上安装真空电机，真空电机配有圆形旋转台，其表面带有安装单晶硅标样和被测样品的定位孔和基准线。真空电机连接外部控制器，实现旋转台0?360°旋转。当样品和标样固定在旋转台上时，它们的基准边与样品台基准线平行，样品的待测表面与旋转台面平行，通过调节外部控制器实现样品纵向、横向精确旋转，旋转精度可控制在0.036度，保证被测样品的样品坐标系与样品台坐标系重合。本实用新型能够精确实现样品原位旋转，实现纵向、横向同时精确测试的需求。