专利详情

专利名称	用于二维电子气结构的退火炉
申请号	CN201610184903.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105826223A	公开（授权）日	2016.08.03
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	王钦;刘广同
主分类号	H01L21/67(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/67(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/321(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L29/43(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I;B82Y40/00(2011.01)I
专利有效期	用于二维电子气结构的退火炉至用于二维电子气结构的退火炉	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及用于二维电子气结构的退火炉。一种退火炉包括：炉体，包括：基座；罩，气密地覆盖基座以限定退火空间；样品台，设置在退火空间中以支承退火样品；加热部件，设置在样品台内部；温度传感器，设置在样品台上；以及气路限定部件，具有筒状并且设置为围绕样品台，气体入口和气体出口之一位于气路限定部件围绕的区域中，另一个位于其外；以及控制系统，包括：电源，用于给所述加热部件提供加热功率；以及温度控制部件，用于基于温度控制信息和所述温度传感器感测到的退火温度来生成温度控制信号，并且使用所述温度控制信号来控制所述电源提供给所述加热部件的加热功率。