专利详情

专利名称	拼接光栅的拼接误差校正系统及方法
申请号	CN201610344818.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105806482A	公开（授权）日	2016.07.27
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	齐向东;卢禹先;李晓天;于海利;于宏柱;张善文;巴音贺希格;唐玉国;吉日嘎兰图
主分类号	G01J3/45(2006.01)I	IPC主分类号	G01J3/45(2006.01)I
专利有效期	拼接光栅的拼接误差校正系统及方法至拼接光栅的拼接误差校正系统及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明实施例提供了拼接光栅的拼接误差校正系统及方法，该系统中依据目标第一入射角、目标第二入射角以及第一检测光的波长计算出的预设垂直阈值大于等于预设肉眼分辨值，即增大了对垂直于拼接光栅平面的平移误差调节的周期，且预设垂直阈值是肉眼可见的，所以操作人员能够直观的看出对垂直于拼接光栅平面的平移误差进行调节时是否超出了一个周期，从而控制拼接架调整装置在预设垂直阈值范围内，即一个周期内调节第一光栅和第二光栅，从而能使垂直于拼接光栅平面的平移误差接近于0，进而实现了仅利用干涉仪检测并校正拼接光栅的拼接误差的目的。