专利详情

专利名称	宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具
申请号	CN201720838180.X	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206998695U	公开（授权）日	2018.02.13
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	汪洋;莫德锋
主分类号	B25B11/00(2006.01)I	IPC主分类号	B25B11/00(2006.01)I
专利有效期	宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具至宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具	法律状态
说明书摘要	本专利公开了一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具，由上下真空腔体板组成真空密封腔体，在真空腔体表面加工真空吸附孔阵列，通过真空排气管对真空腔体抽气，从而固定测试样品。该结构的优点在于充分利用背光照射宝石电极板可以避免正光照射镀金图形存在强烈反射的问题。该结构真空吸附夹具采用透光材料制备，使测试样品可以背光照射，对宝石电极板上高密度镀金图形可以清晰分辨，并且采用真空吸附方式固定测试样品不会造成样品表面污染和表面损伤。该结构的真空吸附夹具结构简单，容易加工，特别适合于高密度电极布线的宝石电极板飞针电学测试时样品的固定。