专利详情

专利名称	一种基于夏克哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置
申请号	CN201720397461.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206990194U	公开（授权）日	2018.02.09
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	齐月静;卢增雄;齐威;苏佳妮;杨光华;张清洋;李兵;王宇
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种基于夏克哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置至一种基于夏克哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种基于夏克哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置，该装置包括波长可调谐激光器、衰减器、聚焦物镜、Y型光纤耦合器、第一五维调整台、第一物镜、第一小孔板、准直物镜、分光板、第一夏克哈特曼波前传感器、成像物镜、待测光学系统、球面反射镜、第二夏克哈特曼波前传感器和数据处理模块。该测量装置结合了第一夏克哈特曼波前传感器和第二夏克哈特曼波前传感器，从测量结果中计算待测光学系统的波像差，只需一套测量装置便可实现不同工作波长光学系统像差的测量。

交易流程

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