专利详情

专利名称	大口径非球面在线轮廓检测装置及其检测方法
申请号	CN201610590672.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106840024A	公开（授权）日	2017.06.13
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	张学军;陈新东;薛栋林;王孝坤;程强
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	大口径非球面在线轮廓检测装置及其检测方法至大口径非球面在线轮廓检测装置及其检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了大口径非球面在线轮廓检测装置及其检测方法，能够实现大口径非球面反射镜的高精度轮廓检测。装置包括如下组件：CCD组件中包括多个CCD，多个CCD均匀对称固定安装在被检测反射镜的边缘；激光出射机构出射多束激光光束分别一一对应投射至每个CCD中；CCD组件中的多个CCD将采集的数据传输给中心控制器。靶标球固定于平移机构上，在平移机构带动下，沿被测反射镜表面平移。激光跟踪仪对于靶标球所在位置进行数据采集，并将采集到的数据发送至中心控制器。中心控制器接收利用CCD采集的数据对激光跟踪仪采集的数据进行校正并计算面形误差。激光跟踪仪与镜体的距离取决于被检测反射镜的顶点曲率半径，曲率半径越大距离越大。