专利详情

专利名称	旁热式微传感器及其制造方法
申请号	CN201610898632.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106629575A	公开（授权）日	2017.05.10
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	陈滢;李昕欣;陈传钊
主分类号	B81B7/02(2006.01)I	IPC主分类号	B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I
专利有效期	旁热式微传感器及其制造方法至旁热式微传感器及其制造方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种旁热式微传感器及其制造方法，包括：衬底，衬底内形成有凹槽；焊盘，位于凹槽外围的衬底表面；旁热式微传感器主体，位于凹槽的上方，包括：主体支撑层、旁式加热元件、第一绝缘层及敏感电极，旁式加热元件及敏感电极位于主体支撑层表面，且旁式加热元件位于敏感电极的外侧，第一绝缘层位于旁式加热元件表面；支撑梁，位于衬底及旁热式微传感器主体之间，适于将旁热式微传感器主体固支于衬底上；疏水疏油层，位于第一绝缘层表面、裸露的主体支撑层表面、裸露的衬底表面及支撑梁表面。本发明采用旁热式结构，减少了敏感材料所在区域绝缘层漏电对于敏感测试信号造成的干扰，在敏感电极区域实现简易的自对准式液态敏感材料上载。