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一种电子枪

  • 申请号:CN201510144815.1
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院大连化学物理研究所
  • 公开(公开)号:CN106158572A
  • 公开(公开)日:2016.11.23
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种电子枪
申请号 CN201510144815.1 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN106158572A 公开(授权)日 2016.11.23
申请(专利权)人 中国科学院大连化学物理研究所 发明(设计)人 雷鑫;江凌;赵志;张冰冰;杨学明
主分类号 H01J49/10(2006.01)I IPC主分类号 H01J49/10(2006.01)I
专利有效期 一种电子枪 至一种电子枪 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了一种电子枪,属于离子源领域,电子发射机构包括阴极灯丝、阳极对电极及阳极挡板电极,阴极灯丝安装在阳极对电极的一侧,阳极对电极的另一侧与加速聚焦机构的一侧绝缘连接,加速聚焦机构的另一侧与偏转机构的一侧绝缘连接,阳极挡板电极位于偏转机构的另一侧;加速聚焦机构包括聚焦电极板及多个聚焦筒,偏转机构包括调节所述电子束强度的上、下部偏转电极板,各聚焦筒绝缘连接,连接后的一端与阳极对电极绝缘连接、且该端与聚焦电极板接触,另一端分别与上、下部偏转电极板绝缘连接;阳极对电极及聚焦电极板上均开有供电子束通过的孔。本发明可以调节电子束的束斑大小、位置及电子束强度,使电子束与中性粒子束的碰撞空间增大。

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