专利详情

专利名称	一种电子枪
申请号	CN201510144815.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106158572A	公开（授权）日	2016.11.23
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所	发明（设计）人	雷鑫;江凌;赵志;张冰冰;杨学明
主分类号	H01J49/10(2006.01)I	IPC主分类号	H01J49/10(2006.01)I
专利有效期	一种电子枪至一种电子枪	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种电子枪，属于离子源领域，电子发射机构包括阴极灯丝、阳极对电极及阳极挡板电极，阴极灯丝安装在阳极对电极的一侧，阳极对电极的另一侧与加速聚焦机构的一侧绝缘连接，加速聚焦机构的另一侧与偏转机构的一侧绝缘连接，阳极挡板电极位于偏转机构的另一侧；加速聚焦机构包括聚焦电极板及多个聚焦筒，偏转机构包括调节所述电子束强度的上、下部偏转电极板，各聚焦筒绝缘连接，连接后的一端与阳极对电极绝缘连接、且该端与聚焦电极板接触，另一端分别与上、下部偏转电极板绝缘连接；阳极对电极及聚焦电极板上均开有供电子束通过的孔。本发明可以调节电子束的束斑大小、位置及电子束强度，使电子束与中性粒子束的碰撞空间增大。