专利详情

专利名称	一种链式晶硅制绒设备及制备方法
申请号	CN201610411087.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105932108A	公开（授权）日	2016.09.07
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	陈伟;刘尧平;杨丽霞;吴俊桃;杜小龙
主分类号	H01L31/18(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/18(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I
专利有效期	一种链式晶硅制绒设备及制备方法至一种链式晶硅制绒设备及制备方法	法律状态	专利申请权、专利权的转移
说明书摘要	本发明提供了一种链式晶硅制绒设备及制备方法，属于晶硅太阳能电池领域，其包括沿所述晶硅的操作方向依次间隔排列的制绒槽、清洗槽、后处理槽、烘干槽以及用于传动花篮的链式传动系统；所述花篮用于装载硅片，所述链式传动系统包括所述制绒槽、清洗槽、后处理槽和烘干槽中每个槽体均设置的独立的传动装置。本发明提供的一种链式晶硅制绒设备能够满足分别对多晶硅和单晶硅进行制绒，还可以应用于金属催化刻蚀制绒工艺中，通用性能好，解决现有的制绒设备用途单一的问题。本发明提供的一种晶硅制绒的制备方法，能够适用于多晶硅和单晶硅的制绒工艺。